最新！4寸AIN衬底实现量产

UVLED风向 · 2023-08-11

行家说UV LED技术与产业应用高峰论坛

9月6日中国 | 深圳

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行家说Display 导读：

8月9日，Crystal IS宣布生产出首款4英寸AlN衬底，并将在亚利桑那州图森举行的第23届美国晶体生长与外延会议上展示AlN块状单晶工艺的可扩展性，以满足各类应用的生产需求。

图片来源：Crystal IS

▌衬底可使用面积超过80%

据了解，AlN衬底具有低缺陷密度、高紫外透明度和低杂质浓度的特点，并且由于其超宽带隙和较高的热导率，其在多个领域都具有较大的应用潜力，例如UVC-LED和功率器件等。根据当前UVC-LED产品要求，Crystal IS所生产的4英寸AlN衬底的可使用面积超过80%。

根据资料显示，Crystal IS致力于开发AlN衬底，其技术工艺可用于2英寸直径衬底中生产UVC-LED，运用该衬底生产的UVC-LED可满足水消毒、空气消毒和表面消毒等应用领域。

▌年产数千个2寸衬底

目前Crystal IS每年生产数千个2英寸衬底，以此满足其UVC-LED产品系列Klaran和Optan的需求。

Crystal IS表示，本次4英寸AlN衬底的商业化，将使Crystal IS工厂现有设施的器件产能增加四倍，并开拓了AlN衬底的应用潜能，AlN衬底将与公司现有使用替代材料的功率和射频器件的制造线相结合。

旭化成方面也表示，本次子公司Crystal IS生产的4英寸AlN衬底，证明了AlN在除UVC-LED之外的行业中，也具有商业应用的可行性。

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▋国内已研发出4英寸AlN单晶模板

据行家说UV了解，目前在UVC-LED中，AlN衬底主要为2英寸，但全球有能力生长出2英寸AlN单晶的企业、研发机构极其有限，仅有如Crystal IS、中国电子46所、奥趋光电、HexaTech等，但4英寸产品目前也只有Crystal IS宣布量产。

为此国内企业如松山湖材料实验室、北京大学、奥趋光电等都在追求国产替代，2021年10月，松山湖材料实验室第三代半导体团队和北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心王新强教授团队共同研制出4英寸无开裂高质量AlN单晶模板。

2022年11月，科技部公布了“十四五”国家重点研发计划重点专项立项信息，北京大学、奥趋光电等9家单位参与的国家重点研发计划重点专项“AlN单晶衬底制备和同质外延关键技术”获批立项。

2022年12月，奥趋光电宣称实现AlN晶体从2 英寸到3英寸的迭代扩径生长，制备出了直径达76 mm的铝极性AlN单晶锭及3英寸衬底样片。

2023年4月，由北京大学等9家单位牵头的“AlN 单晶衬底制备和同质外延关键技术（共性关键技术类）”项目正式启动。

来源：Crystal IS、行家说UV整理

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