UVC芯片可批量生产,中博芯透露最新动作
行家说UV 导读:
近日,中博芯携带6英寸外延片亮相中关村论坛展览,作为一家专业从事氮化物宽禁带半导体材料和芯片研发、生产与服务的高技术企业,其目前主要提供UVA、UVB、UVC等全波段UV-LED系列产品和适用于功率电子和射频电子器件的Si基GaN外延片。
制备出高质量的p型AlGaN超晶格
据了解,中博芯此前创新发展了一种“脱附控制超薄层外延”方法,成功解决了亚纳米厚度高Al组分AlGaN外延层的可控制备难题,实现了厚度为3个单原子层(约为0.75 nm)的高Al组分AlGaN外延层,并在此基础上制备出高质量的p型AlGaN 短周期超晶格,该方法有利于Mg原子占据Al、Ga原子脱附后产生的空位而并入晶格,可有效增加AlGaN外延层中Mg的掺杂浓度。
基于脱附控制方法外延生长的p型AlGaN超晶格
同时成功制备出蓝宝石衬底上低缺陷密度AlN模板,XRD摇摆曲线半高宽(002)面≤150 arcsec,(102)面≤ 250 arcsec,膜厚≥2μm,面内均匀性≤ 1.5%,裂纹≤1 mm。
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融资5000万,UVC芯片可批量生产
除了在外延底研发上有进展,中博芯也透露,目前具有完备的芯片生产线,具备批量生产1020mil、2020mil以及更高规格UVC-LED芯片的能力,另外275nm 2020芯片裸芯状态下光输出功率达到15mW以上,同时在100mA工作电流下,工作电压低于5.8V。
值得注意的是在2022年7月,其宣布完成5000万的A轮融资。中博芯表示2023将继续修炼内功,继续技术攻关和产品迭代,夯实基础;同时不断开拓市场,给客户提供性能更好,更具性价比的第三代半导体氮化物材料产品。
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