【白皮书案例】减少外延层裂纹，元旭半导这样出招！
日前，由行家说Research，联合永成股份、优炜芯、圆融杰生、慧亿科技、华灿光电、中科潞安、至芯半导体、国星光电、华引芯等20家企业共同出品的《2022 UV LED产业调研白皮书》重磅发布，数十款UV LED应用产品被列入该白皮书中作为示范案例，涉及工业固化、表面杀菌、空气杀菌及水体杀菌等等。
为此“行家说UV”设【白皮书案例及产品分享】栏目，依次摘取白皮书中具备代表性的应用产品进行解读，以飨各位。
今日分享——元旭半导纳米图形化蓝宝石衬底
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关产品优点或解决的痛点
元旭半导体纳米图形化蓝宝石衬底可提高外延层晶体质量，减少外延层裂纹，尤其经独有技术进行处理后，能阻挡边缘裂纹向内延伸，提高外延良率，如图一、图二所示可以有效减少裂纹产生。
图一：边缘位置无裂纹
图二：平边位置少量裂纹
产品难点或挑战
目前产品存在的难点是突破了传统LED行业衬底的尺寸达到500nm，对设备要求更高，图形越小将会对制程和工艺设备的控制能力产生较高要求，如何精准稳定的控制图形大小和表面污染控制成为突出的加工难点；其次是不同的规格形状与外延机台的匹配问题。
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