规模生产、降本，两家国外厂商披露Micro LED最新进度
2023
01·28
行家说快讯：
近日，Micro LED方面，德国半导体企业AIXTRON （爱思强）、韩国LED制造商LUMENS皆传来新进度。
其中，爱思强推出首款全自动AsP平台-G10 AsP，LUMENS宣布已开发出用于Micro LED显示器生产的单片 RGB 外延晶圆。
爱思强推出首款全自动 AsP 系统-G10 AsP
1月26日，爱思强（AIXTRON SE ）向市场推出首款全自动 AsP 系统，即G10-AsP，该系统将于2月1日在Photonics West展会上正式发布。
据爱思强介绍，新的G10-AsP 系统满足了Micro LED和激光元件领域不断增长的需求，可实现稳健的大规模生产，Micro LED 的真正量产将成为现实。
据悉，新型全自动 G10-AsP是爱思强投放市场的最大的 200mm AsP批次反应器，配备原位清洗和自动盒式到盒式 (C2C) 晶圆装载。
其前端首次可以配备 SMIF（标准机械接口）吊舱，以进一步减少外延晶圆对室内环境的暴露。借助内置的原位清洁功能，用户可以根据需要重新设置腔室条件——无论是在满足最苛刻要求的每个工艺运行之后，还是在生产活动之后。
此外，G10-AsP系统基于成功的 Planetary Reactor® 技术，可将多晶圆间歇式反应器概念与单晶圆旋转相结合，以确保最高的晶圆均匀性。
Lumens开发单片堆叠 RGB Micro LED外延片技术
1月24日，Lumens宣布已开发出用于 Micro LED 显示器生产的单片 RGB 外延晶圆，新技术将三种颜色的 LED 堆叠在晶圆上的另一个之上。
堆叠式 Micro LED 架构提高了性能，同时也提高了传输过程的效率。该公司表示，其设计将显着降低生产成本——尤其是转移过程，将其减少到三分之一（就转移步骤的数量而言），同时还可以从单个晶圆上完成所有过程。
为了开发这项技术，该公司开发了一种 InGaN 红色材料，这种材料与红色和绿色 LED 的材料相同，可以更容易地堆叠在同一晶圆上，易于加工，有利于单片生产。
Lumens称，Micro LED外延片可用于实现Micro LED电视和扩展现实（XR）设备，并计划推进商业化，计划将 Micro LED 培育成新的增长引擎。
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