国际首支、远紫外，南京大学、复旦大学透露UV研发近况
复旦大学：下一代远紫外光源正在研发中
日前，复旦大学为了缓解校园的防疫压力，该校光源与照明工程系张善端团队研发一系列紫外光消杀设备。
据了解，在复旦四个校区，学校防疫物资仓库、食堂后厨、学生生活园区以及保卫处、信息办等人员流动或物资集中处的墙壁都添置了远紫外杀菌灯，它是一种峰值波长为222nm且滤除了230nm以上波段的远紫外氯化氪准分子灯。
张善端介绍道：“人机共存的使用条件下，需要把氯化氪准分子灯放在带反射器的灯具内；在出光口安装低通滤光片，滤除少量波长大于230nm的非远紫外光。这样既能发挥远紫外光杀灭细菌和病毒的作用，安全剂量下照射一定时间也不会对人体产生危害。”
其表示“远紫外准分子消毒光源的核心技术有两点：一是准分子灯，二是低通滤光片。” 据张善端介绍，下一代远紫外光源正在研发中，可以与LED光源和灯具集成在一起，实现智能和健康的照明，在人居空间撑起远紫外保护伞，消除空气和物表的病毒传播隐患。
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南京大学：实现国际首支宽禁带半导体pn结型EUV探测器
近日，南京大学陆海和张荣教授团队在前期研究基础上，创新设计出一种表面梯度掺杂诱导δn-i-p超浅结SiC二极管，并通过开发选区刻蚀、高温氧化修复与低温金属化工艺，成功实现了国际首支宽禁带半导体pn结型EUV探测器（图1(a)）。
数值仿真及实验结果证明浓度梯度掺杂形成的δn-i-p结构可以在探测器表面诱导产生与器件内部pn结区电场方向一致的强电场（图1(b)），从而有效减少光生载流子在器件表面死区中的复合损失，大幅提升器件的探测效率。系列片上表征以及封装测试证明该EUV探测器具有接近理论极限的探测效率优势；同时，相较于肖特基结型探测器，pn结受界面态、漏电流及环境温度变化的影响小，性能更加稳定。
如图1(c)所示，该大尺寸EUV探测器在室温下的暗电流仅为1pA@-10V，具备探测微弱光信号的优越性能；同时，器件在150°C高温下的暗电流也仅为2pA@-10V，具备在高温环境中工作的应用潜力; 探测器在13.5 nm EUV光辐照下的光电流不随偏置电压发生变化，证明器件能够在光伏模式下工作。此外，该器件在光伏模式下的量子效率高达960%@13.5nm，接近SiC EUV探测器的理论极限（图1(d)）。
图 1 SiC δn-i-p EUV探测器 (a) 器件结构图；(b) TCAD模拟器件表面电场分布；(c) 室温、150°C条件下的暗电流与光电流特性曲线；(d)探测效率曲线。
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