Edwards 推出新型低温泵

以下文章来源于化合物半导体联盟 ，作者化合物半导体杂志

化合物半导体联盟 .

《化合物半导体》（CSC）是全球最重要和最权威的杂志Compound Semiconductor的“姐妹”杂志，亦是中国唯一专注于化合物半导体产业的权威杂志，重点介绍国外先进技术和产业化经验，促进国内产业发展，为国内读者提供行业的专业知识。

新型低温泵的设计是为了在两次再生之间保持稳定一致的真空性能

Edwards Vacuum 推出了一种用于半导体应用的新型低温泵，即 CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS 低温泵，旨在提供市场上最可靠、性能最好的低温泵。

新型低温泵的设计是为了在再生之间和泵的整个使用寿命期间保持稳定一致的真空性能。提供稳定的工艺真空与提高的工艺产量是一致的。连同最高的氢泵送速度，它适用于要求苛刻的离子注入应用。

集成在低温泵中的智能系统控制可确保更好的工艺质量、真空一致性和正常运行时间，同时提供实时系统信息以优化阵列温度控制。通过自动适应不断变化的热/气体负载条件来提高真空质量。

On-Board IS 320F XVS 与所有 On-Board IS 低温泵系统以及 IS-1000、IS-2000V 和 IS-1800 XVS 压缩机兼容。

战略产品经理 Paul Amundsen 表示：“Edwards 致力于提供减少对环境影响的产品，On-Board? IS 320F XVS 低温泵也不例外。通过将我们的新型低温泵与 On-Board IS 变速氦气压缩机结合使用，与使用定速氦气压缩机相比，客户的能耗可降低多达 44%。”

关于我们

《化合物半导体》中国版(CSC)是全球最重要和最权威的杂志Compound Semiconductor的“姐妹”杂志，亦是中国唯一专注于化合物半导体产业的权威杂志，重点介绍国外先进技术和产业化经验，促进国内产业发展，为国内读者提供化合物半导体行业的专业知识。内容涵盖晶体的特性研究，器件结构的设计，生产中用到的材料、设备、软件、测量、厂房设施，以及有关市场分析和动态。

雅时国际商讯（ACT International）成立于1998年，为高速增长的中国市场中广大高技术行业服务。ACT通过它的一系列产品－包括杂志和网上出版物、培训、会议和活动－为跨国公司及中国企业架设了拓展中国市场的桥梁。ACT的产品包括多种技术杂志和相关的网站，以及各种技术会议，服务于机器视觉设计、电子制造、激光/ 光电子、射频/ 微波、化合物半导体、洁净及污染控制、电磁兼容等领域的约十多万专业读者。ACT 亦是若干世界领先技术出版社及展会的销售代表。ACT总部在香港，在北京、上海、深圳和武汉设有联络处。

部分文章转自网络,如有侵犯版权请联系我们,我们会立即删除(18986284126)