计量制造商 k-Space Associates 宣布了他们最新的薄膜计量产品 kSA ACE（外延原子控制）。

k-Space 工程师根据研究和产业界科学家的意见设计了该工具，以提供一种准确、高分辨率的原位仪器，利用原子吸收光谱学原理监测原子种类的通量和生长速率。kSA ACE 使用传统的空心阴极灯 (HCL) 来产生感兴趣元素的原子发射。该仪器使用两台高灵敏度、经过紫外优化的固态光谱仪——一台用于监测吸收，另一台用于监测 HCL 的信号漂移。

kSA ACE 可以独立且高精度地测量每种感兴趣的材料，在多源过程中提供对材料特定通量的精确控制。该工具非常适用于制造 III-V 和 II-V 化合物、半导体器件、薄膜传感器、太阳能电池、光学涂层、X 射线光学器件、平板显示器等。

k-Space Associates, Inc. 首席执行官 Darryl Barlett 表示：“当我们了解到需要一种在连续操作下具有长期重复性的高灵敏度通量监测工具时，我们与科学界合作开发了 kSA ACE为他们提供所需的稳定性和分辨率。这是一个具有挑战性的产品，但我们对最终结果非常满意，并期待看到它在全球的沉积工具上运行。”

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