Beneq推出两款新型ALD产品
Transform 300 和 Prodigy 工具旨在满足多功能性和简单性的需求
Beneq 是使用原子层沉积 (ALD) 进行工业生产的先驱，它推出了两款用于半导体器件制造的新产品：Transform 300 和 Prodigy。
Beneq 的Transform 300 和 Prodigy 都是为了满足半导体制造领域不断增长的技术需求而设计的。
“Transform 300 旨在满足300 毫米的新兴半导体应用对 CMOS 图像传感器、功率器件、微型 OLED/LED 和先进封装等器件日益增长的需求，它们都需要高度的通用性。” Beneq 半导体ALD部门副总Patrick Rabinzohn解释说。
“我们创建 Prodigy 是为了满足那些需要由高端技术支持的简单解决方案的细分市场。它继承了我们 Beneq 在过去 15 年中开发的 ALD 设计和处理技术，以更简单、有针对性的工业外形封装先进的功能。”Rabinzohn 继续说道。
Beneq Transform 300 （如上图所示）据称是唯一一款结合了热 ALD（批量）和等离子ALD（单晶片）技术的 300 毫米 ALD 集群工具，可为 IDM 和代工厂提供多功能平台。它致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用中的先进薄膜应用。
Beneq Transform 300 旨在满足多种先进的薄膜应用，从栅极电介质（包括高纵横比沟槽）到抗反射涂层、最终钝化或封装、芯片级封装等。
Beneq Prodigy 专为化合物半导体制造而设计，包括射频集成电路(GaAs/GaN/InP)、LED、VCSEL、光探测器，以及希望通过经济实惠的独立 ALD 批处理工具提高器件性能和可靠性的 MEMS 制造商和代工厂。Beneq Prodigy为多种类型和尺寸的晶圆提供钝化和封装薄膜。
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