你们想要的4Mask工艺及相关参数 请注意查收!
今天OLEDindustry君为大家准备的内容是上个月公众号留言数量最多的4MASK
4MASK是如何而来的呢?
目前非晶硅基板通用的是5Mask工艺,即需要5次的光刻工艺。如果可以减少光刻数量,可以降低制造的成本,由此产生了4Mask工艺。
4Mask TFT Array工艺
常规TFT Array工艺