又一Micro LED巨量检测难题获突破
据海目星官微昨日消息，海目星携手福州大学成功研制出国内首款晶圆级Micro LED芯片非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL，有效解决Micro LED行业共性检测技术问题。
面对Micro LED巨量检测诸多行业痛点，福州大学吴朝兴教授团队自2015年开始就开展LED非接触电致发光原理研究，随后提出Micro LED芯片的无接触电致发光检测方案，即在外部检测电极与Micro LED芯片之间不接触的情况下实现LED芯片的电致发光。在该模式中，外部电极不是为LED注入载流子，而是用于形成垂直于LED多量子阱层的电场，从而 “隔空”点亮LED芯片。
这种检测方法既避免了传统检测方法在检测过程中对Micro LED芯片造成的物理性损坏，又避免了光致发光检测造成的芯片良品率“虚高”的现象。除此之外，还能避免自动光学检测在检测过程中将表面形貌完好但无法发光的Micro LED芯片误判为正常芯片的情况。
2024年，海目星携手福州大学吴朝兴教授团队，开展复杂电磁环境中的“机械-电气-发光-采集”功能模组的设计与整合，以及控制与光电采集信号的同步，成功研制晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL。
基于该样机的研发成果，可对红、绿、蓝Micro LED外延片、晶圆（COW）以及转移到临时载板的芯片（COC）进行无接触电致发光检测。
红光COC氮化镓Micro LED芯片检测，来源：海目星官微
红、绿、蓝COW氮化镓Micro LED芯片检测，来源：海目星官微
2024年7月，海目星与福州大学合资成立深圳海纳半导体装备有限公司，聚焦各类新型显示及第三代半导体检量测设备。
今年4月，海目星与闽都创新实验室正式成立“半导体检量测装备研发中心”。闽都创新实验室是首批四家福建省创新实验室之一，在光电信息领域的关键技术攻关与产业转化领域具备优势。双方的合作将进一步深化产学研融合，赋能半导体显示产业创新发展。
海目星、闽都创新实验室成立研发中心
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