南大光电完成25吨光刻胶生产线建设！get国产ArF光刻胶首个订单

化合物半导体市场 · 2021-05-14

5月11日，南大光电在业绩说明会上表示，公司已建成2条ArF光刻胶生产线。ArF光刻胶产品开发和产业化项目，目前已完成25吨光刻胶生产线建设，主要先进光刻设备，如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。

对于关键的原材料、设备“卡脖子”问题，南大光电表示，目前已经除了配备用于质量检测的光刻机等量测设备是国外进口的之外，光刻胶的主要原材料是自己开发和生产的，生产设备是联合国内企业研制的，均不存在被卡风险。

Source：南大光电

早在2020年底，南大光电自主研发的ArF光刻胶产品成功通过某闪存客户使用认证，线制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求，各项光学性能均达到商用胶的水平，成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶，是实现先进光刻胶的国产替代的巨大突破。

其产业化取得关键突破，拿到国产光刻胶的首个订单，实现小批量销售。

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文稿来源：化合物半导体市场整理

图片来源：拍信网

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