Riber向英特磊（IntelliEPI）交付第一台MBE8000设备

Riber向英特磊（IntelliEPI）交付第一台MBE 8000设备 收录于话题 #VCSEL 6 #外延片 1

超高性能VCSEL用外延片的制造设备

MBE设备公司Riber向其长期客户英特磊科技股份有限公司（IntelliEPI）交付了第一台MBE 8000系统，这是世界上最大的MBE设备。此次交付是该设备用于超高性能VCSEL应用的外延片制造的销售协议的一部分。

由于基于VCSEL的器件是通过衬底表面发射的，因此可以将其制造成具有高密度发射器阵列的器件。这些器件正逐步取代传统激光器，成为越来越多应用的基准技术——例如，3D检测(智能手机上的面部识别)或运动控制——横跨从消费电子到医疗保健、汽车和电信等不同领域。

Riber表示，与其他技术相比，其MBE技术具有一系列优势。这种创建非常清晰界面的能力与非常精确的组分控制相结合，可以提高沉积的半导体薄膜的质量，增强导电性和激光器的性能。为了满足高性能外延片制造对更大产能MBE平台的需求，并具有优异的晶圆均匀性，Riber开发了新型MBE 8000生产系统。

全自动MBE 8000使用超高真空沉积技术。该机器是一台多晶圆反应器，能够同时生长多达8片150毫米晶圆，并提供向200毫米晶圆过渡的可能性。该机器可以生产VCSEL和其他器件结构，控制精度可达原子单层，薄膜厚度均匀性远低于1%。

对于英特磊，MBE 8000系统将进一步增强其外延能力。除了现有的3台MBE 49、8台MBE 6000、2台MBE 7000、1台V90和1台VG100之外，这套新的MBE 8000生产平台将使英特磊能够满足其不断增长的VCSEL和其他市场的预期需求增长，特别是具有完美的品质的6英寸砷化镓产品，可以更好地满足其客户的需求。

“此次交付证实了Riber在MBE市场上的领导地位，及其MBE 8000多晶圆反应器的出色功能，其产量与市场需求相吻合。” 这台机器表明，MBE技术得到了完美的优化，与其他技术相比具有更多的附加值，特别是在制造复杂半导体结构的操作和产出方面。此外，MBE 8000系统还为将来的业务发展提供了强大的前景。” Riber执行董事会主席Philippe Ley确认道。

“这个最先进的MBE 8000技术平台，随着吞吐量的增加和性能的提升，将使英特磊能够更好地应对新兴的高性能市场，例如用于汽车激光雷达的VCSEL，以及用于5G射频应用的HEMT或HBT。一项关键的改进是在更大的反应平台上提高了材料均匀性。英特磊总裁兼首席执行官高永中表示：“随着未来这些MBE 8000反应器在我们位于美国德克萨斯州的扩大生产设施中的部署，英特磊将能够为所有客户提供更高价值的产品和服务。”

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