OLED人不能忽视的核心工艺——铜制程工艺

OLEDindustry · 2017-03-08

随着显示器技术的发展,无论什么尺寸,高分辨率已经是趋势。

手机目前已经发展到FHD、WQHD甚至4K,而电视4K普及程度已经很高了。

因此在信号传输上存在这各种各样的延迟

本质上为电阻过大

通常为了解决此问题,制程上增加走线的膜厚和水平宽度,但是膜厚过厚在制程上有很大的问题,而走线变宽容易引起开口率过低或者设计时布局困难。

因此,还有一个改善的地方:电阻率

从根本上降低走线的电阻。铜具有很低的电阻率(相比我们经常用的铝),目前很多量产产品上已经用到了铜制程,并采用湿蚀刻制程进行图形的制作,但是会存在很多问题,因此产生了铜的干蚀刻工艺,本文针对这个方面进行简单的讨论。

Al VS Cu