不了解黄光制程？将工序细细解剖给你看！

黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区

包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序

之前OLEDindustry君已经为大家科普了黄光区的基本概念

今天我们来看一下关于黄光制程更深层次的内容

黄光制程

通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物质(又称为光刻胶或光阻)，经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用，然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。