不了解黄光制程?将工序细细解剖给你看!
黄光区是指TFT工厂或者半导体工厂中的光刻区
包含光刻胶涂布、曝光、显影及刻蚀工序
之前OLEDindustry君已经为大家科普了黄光区的基本概念
今天我们来看一下关于黄光制程更深层次的内容
黄光制程
通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物质(又称为光刻胶或光阻),经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用,然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。