英特尔推出Micro LED玻璃基封装技术



9 月 8 日,英特尔(Intel Corporation)获得一项名为 "IC PACKAGE WITH MICRO LEDS" 的美国授权专利,该专利是将半导体芯片至少部分嵌入玻璃基板内,玻璃基板内还嵌入一个贯穿玻璃通孔(TGV),其中TGV与半导体芯片电耦合,为Micro LED提供电源。该专利无需额外外接元件即可实现芯片工作状态可视化、定制化光效显示、甚至原位光电测试功能。


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半嵌入:裸片部分嵌入玻璃,背面露出贴合氮化硅散热层,散热路径短,发光效率高,工艺难度低 -
全嵌入:裸片完全嵌入玻璃,四周被玻璃包覆,密封性好,可靠性高,整体厚度更薄
1.在玻璃基板上用激光刻蚀 + 湿法刻蚀加工 Micro LED 嵌入凹槽和 TGV 孔
2.用 PVD + 电镀在 TGV 中填充铜,形成导电互连
3.将 Micro LED 裸片放入凹槽,回流焊或热压键合实现电极互连
4.用玻璃熔融键合或透明聚合物填充间隙,密封固定
5.表面减薄抛光,制备 RDL 重布线层和绝缘保护层
6.与上下聚合物封装基板键合,完成整体封装



