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新型基板可提高AlGaN UV LED的效率
行家说Display · 2020-01-14
根据国际研究人员小组的研究,使用新型衬底,带有二氧化硅阵列的图案化蓝宝石(PSSA),可以大大提高InGaN / AlGaN UV LED的效率。
新型基板可提高AlGaN UV LED的效率
二氧化硅阵列的图案化蓝宝石可提高晶体质量和光提取效率
武汉大学教授周胜军说:“传统的图案化蓝宝石衬底(PSS)面临实现更高效率的基于AlGaN的UV LED的瓶颈。” “我们的新型基板为在未来的固态UV光源中实现更高的电致发光性能提供了前所未有的机会。”
对于在常规PSS上生长的基于AlGaN的UV LED,实验结果表明,较大的Al吸附原子(比具有蓝宝石的Ga吸附原子)的粘附系数会导致AlGaN在蓝宝石图案侧壁上的取向错误,并且AlGaN与AGaN之间的折射率差异有限。蓝宝石阻碍了蓝宝石图案的耦合能力。由于这些原因,最先进的UV LED仍然具有晶体质量差和光提取效率低的缺点。
研究人员通过使用PSSA(使用二氧化硅阵列代替了蓝宝石图案)提高了晶体质量和光提取效率。与PSS相比,PSSA降低了AlGaN外延层中的螺纹位错密度,这归因于优选的垂直生长模式并减少了聚结边界处的失配。此外,由于图案化的二氧化硅阵列具有更高的折射率,PSSA在将光重定向到顶部和底部小面的逃逸锥中比PSS更好地充当反射器和折射器。
通过使用PSSA,由于降低了螺纹位错密度并提高了光提取效率,InGaN / AlGaN UV LED的效率得到了显着提高。
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