三星显示器计划向Q1显示器生产线Q1购买七台电感耦合等离子体（ICP）干法蚀刻设备，该生产线计划于2021年投入运营。据3日报道，它正在与设备公司谈判供应价格。在供应方面，日本的ICD，Wonik IPS和Tokyo Electron（TEL）的三波模式正在普及。

三星显示器在韩国忠南的Asan 2 Campus A2工厂和A3和A4工厂的批量生产线中，将ICP蚀刻设备应用于5.5代（1.3mx 1.5m）和第六代（1.5mx 1.85m）基板。正在制造多晶硅（LTPS）薄膜晶体管（TFT）。三星显示器是第一条使用8G（2.2mx 2.5m）ICP蚀刻设备制造氧化物TFT的QD显示生产线。

业界认为，成为第八代氧化物TFT工艺大规模生产QD显示器的首次尝试是成为生产难题之一的可能性。

显示行业的一位官员说：“当LG Display在2013年首次大规模生产用于电视的大型OLED（WOLED）时，对于氧化物TFT而言，沉积而不是困难是令人惊讶的。” 三星显示器的另一位行业官员表示：“一旦氧化物TFT是与LTPS TFT不同的必不可少的技术，它就已经被折叠了。”成功了。”

三星显示器的Q1生产线每月供应30,000片，据称这7台ICP蚀刻设备中的很大一部分都有大量国产CD供应。 ICCD已为A2和A3工厂提供了大多数ICP蚀刻设备。据报道，A4植物蚀刻设备将分别配备Wonik IPS的45％，其余10％将由日本东京电子公司负责。

LG Display为位于中国广东省广州市的第8代OLED生产线订购了9台ICP蚀刻设备，每月产能为60,000台。分配了五个ICD，两个东京电子和韩国的两个Invenia。三星显示器的Q1生产线设备开发团队最近将主要设备选择转移给了采购团队。据报道，东京电子公司通过其在韩国的演示蚀刻设备室，实时响应了三星显示器的需求。

来源：thelec