新品推荐—UV LED均匀准直面光源曝光光刻方案（二）
上期推出的UV LED均匀准直面光源曝光光刻方案，很多小伙伴非常感兴趣，联系咨询更多关于UV LED曝光机的详情。应大家的要求本期再聊聊 恒坤光电|HercuLux Optics UV LED均匀准直面光源曝光光刻方案方面的话题。
结构图示
UV LED均匀准直面光源曝光光刻设备的结构包括LED光源、光线收集透镜、复眼积分透镜组、场镜、准直透镜及曝光平面等。
下面看看规格型号为4英寸、6英寸、8英寸UV LED均匀准直面光源曝光光刻设备对应的技术指标、工作距离及曝光图形实例。
规格型号及技术指标
曝光图形实例
线宽：2μ
深宽比：大于 2：1
陡直度：大于80°
最小线宽：1μ
套刻次数：3
工作距离
UV LED曝光机节能环保，替代传统UV汞灯曝光机已成必然趋势。恒坤光电|HercuLux Optics现在已经投产、可批量交货的4英寸、6英寸、8英寸UV LED曝光机相比传统UV汞灯曝光机体积大大缩小，可以实现轻松替换。对应的外观图和安装尺寸图如下。
4寸外观图
4寸安装尺寸
6寸外观图
6寸安装尺寸
8寸外观图
8寸安装尺寸
