恒坤光电推出UV LED均匀准直面光源曝光光刻方案
随着UV LED光源技术的日趋成熟，UV LED曝光光源在光刻市场中的占比逐年提高。恒坤光电|HercuLux Optics的技术团队深入研究UV LED技术多年，研发出4英寸、6英寸、8英寸紫外LED均匀准直面光源曝光光刻装置，可以支持特征尺寸1微米图形的集成电路制作，并获得多项技术专利，成功地在客户端投入使用200多台。
好的效果来自好的光学设计，下面我们了解一下恒坤光电|HercuLux Optics UV LED紫外曝光装置的设计原理以及6吋紫外LED曝光面光源设计实例演示。
原理图示
紫外LED发出的光线经收集器收集会聚到复眼透镜中，复眼透镜出射的光线经场镜以及准直透镜在曝光面上积分准直，在曝光面上实现几乎平行的且均匀紫外照明。
复眼与场镜工作原理详解
每个复眼单元的入射面被场镜成像到照明场的同一区域相互叠加，从而大大提高照明场的均匀性。
6吋紫外LED曝光面光源设计实例演示
搭配光源信息：某知名UV品牌光源
光学效果：
设计结果：
结构与外形：
