GaN-On-Si技术助力蓝/绿光Micro LED量产 成本媲美OLED和LCD

美国威科仪器公司（Veeco Instrument Inc.）今天宣布与德国ALLOS半导体（ALLOS Semiconductors）完成一项战略措施，以展示200mm硅基板用于氮化镓（GaN）蓝／绿光Micro LED的生产上。威科仪器与ALLOS合作将其专有的磊晶技术转移到单晶圆Propel有机金属化学气象沉积（MOCVD）系统上，以便于现有的硅生产线上实现生产Micro LED。

ALLOS半导体公司执行长Burkhard Slischka表示，“使用Propel反应腔，我们就拥有一项MOCVD技术来实现高产能的氮化镓磊晶，可满足在200mm硅生产线上生产Micro LED元件的所有要求。不到一个月的时间，我们就已经在Propel上建立了我们的技术，并且获得了无裂纹、无回熔（meltback-free）的晶圆，其曲度低于30微米，晶体品质高，优异的厚度均匀性与小于1nm的波长均匀性。和威科仪器合作，ALLOS期待将这种技术更广泛地应用于Micro LED的产业中。”

Micro LED显示技术由小于30x30平方微米的红色、绿色和蓝色（RGB）无机LED所组成，再转化为显示器背板以形成子像素。与OLED和LCD相比，这些高效率LED直接发射且耗电量更低，却可以为移动显示器，电视机和穿戴式装置提供卓越的亮度和对比度。Micro LED的制造需要高质量、均匀的磊晶片来满足显示器的产量和成本控制的目标。

“与竞争对手的MOCVD平台相比，由于威科仪器的TurboDisc技术提供了更广泛的制程范围，因此Propel提供了一流的均匀性同时还能获得优良的薄膜品质。”威科仪器高级副总裁兼MOCVD营运总经理Peo Hansson博士表示，“将威科仪器领先的MOCVD专业技术与ALLOS硅基氮化镓（GaN-On-Silicon）磊晶技术结合在一起，使我们的客户能够开发出低成本的Micro LED，为新市场开拓出新的应用。”