8吋SiC、液相法,这家企业有新动作 原创 行家产研Joyce 行家说三代半 2024-04-29 18:00
去年6月,天岳先进宣布取得了8吋SiC液相法获突破;近期,日本也宣布将开启8吋SiC液相法的研究。
4月23日,日本中央玻璃股份有限公司(Central Glass)宣布,他们将参与日本新能源和工业技术开发组织(NEDO)的绿色创新基金项目,开展“高质量8英寸SiC单晶/晶片制造技术开发”,采用液相法研究和开发SiC晶片。
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据介绍,Central Glass自2022 年4月以来就一直在研究开发SiC液相法技术,现该项目已转型为NEDO绿色创新基金资助项目(项目期限为2022财年至2029财年),将进一步助推他们实现世界级高品质8英寸碳化硅晶片的落地量产。
回顾国内8吋液相法SiC相关进展,天岳先进率先宣布突破——
去年6月底,天岳先进在Semicon China展会上宣布,他们通过对温场和流场进行控制等,采用液相法制备出了低缺陷的8英寸晶体,通过热场、溶液设计和工艺创新突破了碳化硅单晶高质量生长界面控制和缺陷控制难题,尚属业内首创。
天岳先进表示,他们将继续在产品尺寸、晶体厚度、衬底品质等多维度持续加大研发和技术提升,始终保持领先,引领行业发展。
了解更多SiC技术最新进展,可以关注这个活动——
6月14日,行家说将在上海举办“汽车&光储充与SiC技术大会”,届时汇川技术、锦浪科技、英飞凌、芯联动力、扬杰科技、蓉矽半导体及泰克科技等多家企业,将围绕碳化硅在“800V汽车、光储充”等领域的技术应用展开演讲,为汽车、光储充行业带来最新的SiC技术解决方案。
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