近日，韩国设备厂商Philoptics研发出首个使用UV LED光源的DI光刻机。其光刻机采用UV LED光源代替汞灯，降低了能耗，且光刻机光源寿命长，易于维护。
Philoptics目前为PCB生产线提供DI光刻机，并计划在未来响应柔性印刷电路板市场。目前正与国外客户洽谈为半导体晶圆生产线提供光刻机。（来源：etnews）
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