问采用sputter机台生产的芯片为什么会比采用E-beam生产的片子亮度高？会高多少？

徐宸科 · 2017-09-28

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Know how。建议可以问设备商。简单说成膜质量不同。

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徐宸科

认证行家

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福建百人与厦门市海纳百川特聘专家 , 多项国家重点项目课题负责人，863计划项目负责人。拥有国内外授权专利37件，申请中24件。研究方向：外延、芯片、特殊封装，包含照明用LED（水平、倒装、垂直芯片），紫外(UVA,UVB, UVC)应用，高功率蓝光激光器，VCSEL，车灯封装，虹膜辨识，CSP，SWC，Micro LED技术。

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