问您好徐总，跟您咨询个CMP问题，为什么随软抛时间增长，LOP不是逐渐提升然后趋于稳定，而是先升后降

注：蓝色为COW数据，红色为COT数据

徐宸科 · 2017-08-29

3841
1

这是正常现象。

登录后发表评论

徐宸科

认证行家

动态12 · 收获阅读60081

福建百人与厦门市海纳百川特聘专家 , 多项国家重点项目课题负责人，863计划项目负责人。拥有国内外授权专利37件，申请中24件。研究方向：外延、芯片、特殊封装，包含照明用LED（水平、倒装、垂直芯片），紫外(UVA,UVB, UVC)应用，高功率蓝光激光器，VCSEL，车灯封装，虹膜辨识，CSP，SWC，Micro LED技术。

快速提问

今日热榜

行家说公众号

关注公众号及时了解产业热点动态