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高温MOCVD设备及深紫外LED外延技术进展

作者:中微半导体设备

页数:18页

简介:12月18日,由行家说、SNOW Intelligence联合举办的“2019行家Point · UV LED市场渗透与产业化大会暨《UVLED产业发展白皮书》研讨会”在深圳成功举行。中微公司李军分享了中微高温MOCVD设备及深紫外外延技术进展。

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中微半导体设备
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