又有3家企业实现12吋SiC突破

第三代半导体风向 · 2025-09-16

近日,“行家说三代半”发现,又有3家中国台湾的SiC企业/机构透露了12英寸技术进展,他们分别是环球晶、台湾成大、永泉晶圆。可以明确,12吋SiC技术的发展正呈现出多技术路线并行、产学研协同推进的特征,产业链各环节正加速实现规模化突破。

环球晶:

已开发12吋方形SiC晶圆

9月10日,在SEMICON Taiwan 2025国际半导体展现场,环球晶董事长徐秀兰宣布,环球晶已开发出12吋方形碳化硅晶圆。

徐秀兰指出,过去60年来,半导体硅晶圆始终为圆形,相关制造工艺和设备也均基于圆形设计。若改用方形晶圆,不仅需突破制程技术,还须开发新设备,且目前缺乏现成配套。此外,方形晶圆可能无法适配现有晶圆盒,且因碳化硅晶圆具有透光特性,相应的量测技术也需调整。

徐秀兰还表示,目前8吋碳化硅晶圆采用激光切割,而12吋的切割技术尚未成熟。相较于其它缺乏12吋经验的碳化硅业者,环球晶已具备多年12吋硅晶圆生产经验,并在此基础上开发出无需激光的12吋碳化硅切割技术。

据悉,环球晶的前身是中美硅晶制品股份有限公司,2011年,中美硅晶将三大事业体(太阳能、半导体、蓝宝石)独立分割,环球晶圆股份有限公司由此成立。

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台湾成大:

12吋SiC晶圆亮相国际展会

SEMICON Taiwan 2025国际半导体展同期,中国台湾的成功大学智慧半导体及永续制造学院首度参展,并展出了12吋碳化硅晶圆。台湾成大表示,12吋碳化硅晶圆亮相,象征着台湾次世代半导体材料的重要里程碑。

同时,台湾成大晶体研究中心研发的8英寸碳化硅晶锭及6吋碳化硅晶锭也同步展出。据悉,台湾成大晶体研究中心为中国台湾目前唯一拥有超高温(2300℃以上)大尺寸碳化硅晶体生长炉的学术机构。

永泉晶圆:

成功制备台湾首颗12吋SiC晶锭

近期,据永泉晶圆官网消息,其于今年4月成功自行研发并制造出全台湾第一颗12吋碳化硅晶锭,厚度超过11mm。

另据永泉晶圆披露,他们还于2025年8月自主完成12吋长晶炉的设计与整机组装,展现高端设备自主研发能力,并于同月完成试产,确立了量产的可行性。

官网显示,永泉晶圆成立于2018年,已掌握SiC长晶技术、晶种生长、粉末制备、热场(坩锅)制备、纯化技术、长晶炉制备,以及激光剥离、研磨抛光技术到SiC晶锭的制备和销售。

插播:天科合达、天岳先进、同光半导体、烁科晶体、泰坦未来、浙江晶瑞、芯聚能、三安半导体、安海半导体、华卓精科、快克芯装备、合盛新材料、京航特碳、恒普技术、奥亿达新材料、创锐光谱、西湖仪器、北方华创、科友半导体、九域半导体、国扬电子、凌锐半导体、中电化合物、昕感科技、羿变电气、东尼电子、西格玛、铭扬半导体、瑞霏光电、力冠微、格力电子、芯研科等已确认参编《2025碳化硅衬底与外延产业调研白皮书》及《2025碳化硅器件与模块产业调研白皮》,参编咨询请联系许若冰(hangjiashuo999)。

本文发自【行家说三代半】,专注第三代半导体(碳化硅和氮化镓)行业观察。

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