置换率100%！国产芯片设备进驻中芯国际，中企抢回70%中国市场

置换率100%！国产芯片设备进驻中芯国际，中企抢回70%中国市场

在中国芯片产业中，半导体设备是最大的一块短板，影响国产芯片安全可控。不过，经过数十年的垄断后，中国半导体设备产业终于迎来了爆发期，正逐步撬动曾经的垄断局面。

譬如，在集成电路制造核心装备之一的化学机械抛光设备领域，中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）便实现了大程度地国产替代。

在7月8日北京亦庄创新发布会上，电科装备亮出在化学机械抛光设备（CMP）等产品上的技术突破成果。

在化学机械抛光设备领域，美国应用材料、日本荏原呈现出寡头垄断的态势，2017年二者瓜分了行业98.1%的市场。中国作为全球第二大化学机械抛光设备市场，中国企业在业界所占份额却寥寥。

不过，电科装备正快速崛起，填补我国在这一领域的空白。2017年，中科装备创造了国产化学机械抛光设备第一次进入集成电路大生产线，其具备完全自主知识产权的200mm化学机械抛光设备，被送往中芯国际进行验证。

电科装备的产品没有令人失望。不仅是中芯国际，台积电、联电、华虹宏力等芯片制造巨头的大生产线，都已经用上了电科装备200mm抛光设备。

据了解，在8英寸化学机械抛光设备市场，电科装备已经抢回了70%的市场占有率。中芯国际对电科装备给出了极高的评价：唯一置换率100%的国产设备供应商。

不仅如此，在芯片制造关键设备——离子注入机领域，电科装备同样获得不俗的成绩。

如今，电科装备已经完成离子注入机全谱系产品国产化，工艺段可覆盖至28nm。也就是说，应用材料与Axcelis在这一地位的寡头垄断地位，有望被松动，中国企业不必在依赖进口。

电科装备是中国电子科技集团旗下子公司，中国电科则是国防信息化制造巨头，在军用、民用领域都扮演者直观重要的角色，有着我国唯一覆盖电子科技信息全领域的大型科技集团等殊荣，实力十分强悍。

在抛光片、碳化硅材料等半导体材料，半导体电子产品等方面，都有不俗的表现。有着中国电子科技集团撑腰，电科装备发展自然十分迅猛，其已经成为中国半导体设备领域的领头羊。

在电科装备等企业的努力下，我国半导体设备国产替代率将不断提升。

来源：半导体设备资讯站

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