美国一线LED厂商选用Aixtron设备生产MicroLEDs

CSC化合物半导体 · 2021-04-08

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Aixtron G5 + C符合Micro LEDs市场日益严格的要求

Aixtron宣布,另一家美国一线 LED制造商选择了AIX G5 + C MOCVD系统制造Micro LEDs。

“我们非常高兴,这家市场上的关键厂商选择了我们的AIX G5 + C来进一步开发突破性的Micro LEDs生产工艺。我们期待着进一步加快Micro LEDs在显示器上的推广。

Aixtron SE总裁Bernd Schulte说:“Micro LEDs技术正在颠覆现有的LED生态系统,采用迄今为止只有在LCD或半导体行业才能看到的方法和途径,而我们的AIX G5 + C平台完美地支持了这些严格的外延要求。”

Micro LEDs技术是所有LED厂商的发展方向,但这项技术需要严格的均匀性控制,结束了晶圆分选的时代。

为了制造基于Micro LEDs的显示器,必须将数百万个微米范围的LED转移到一个显示器上。这意味着必须直接从加工好的LED晶圆中取出大阵列的LED,以防止任何前期的晶圆分拣或缺陷芯片的分类。

因此,至关重要的是,所生产的所有外延晶片必须具有非常紧密的波长分布和非常低的表面缺陷水平,这就需要创新的MOCVD方法。

在这方面,Aixtron的AIX G5 + C系统结合了紫外线(UV)高温测定法,在外延过程中使用了晶圆级的薄膜表面温度控制(基于自动进给)。这样就可以非常精确地控制铟在多量子阱(MQW)中的掺入,这将最终确定所有生产晶圆的波长一致性。

盒到盒的传输模块加上原位清洗,是确保在处理或外延过程中没有颗粒污染薄膜的技术解决方案。

“Micro LEDs技术是显示行业的颠覆者,在功耗方面优于现有的液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)技术,同时具有出众的像素密度、对比度和亮度。现在毫无疑问,它将为消费类移动产品以及高端电视显示器开辟新的前景,我们很荣幸能与所有行业领导者携手合作,实现这一场景。"Aixtron SE高级产品营销经理Arthur Beckers解释道。

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