仪器系统宣布推出用于Micro LED的测试站

行家说LED快讯 · 2020-07-10

已上头条


使用LumiTop系列的2D摄像头系统同时高效地测试晶圆上的数千个Micro LED

仪器系统公司(Instrument Systems)宣布了一种用于μLED晶圆测试的基于相机的测量解决方案,该解决方案可以在给定的周期内生成二维的像素分辨光学分析。LumiTop 4000的分辨率为12 MP,可以检测出晶片上最小的缺陷和不均匀性。借助100毫米微距镜头,该摄像机可在单个测试站上对晶圆上的所有Micro LED进行快速的并行在线分析。

Micro LED是一种严格的新显示技术。它们小于100微米,并具有卓越的光学性能,可制造具有宽色域,高对比度和极高分辨率的显示器。特别是在批量生产中,它们对每个生产阶段(包括晶圆级)所需的光学质量测试提出了新的挑战。这不能通过标准测试(即顺序测试)来实现。

为了有效测试晶圆上数千个Micro LED,必须并行执行测试程序。因此,要求制造商同时接触尽可能多的Micro LED。另外,光学检查应快速准确,并与生产流程同步进行。此功能仅在使用经过专门校准的仪器进行2D测量时起作用,以防止测量错误。

Instrument Systems的LumiTop系列2D摄像机系统提供了一种快速的解决方案,该解决方案已在生产中确立。2D摄像机与高端光谱辐射仪结合使用,该光谱仪同时用作参考测量仪器,可实现高精度读数。LumiTop系列包括用于所有尺寸测试对象的特殊版本。具有100 mm透镜的新型LumiTop 4000特别适合于Micro LED晶圆测试。视场(FoV)约为 1.0 x 1.4厘米,它可以并行测量数千个Micro LED,最小像素尺寸低至30微米。硬件触发器将相机与给定的周期时间同步。CMOS传感器提供了广泛的动态范围。

随附的综合LumiSuite软件可对读数进行广泛的分析,包括准备像素强度图或颜色图。算法可以根据可选标准搜索并标记像素缺陷。