致力于光刻工序涂胶显影设备国产化，国产半导体设备商芯源微成功过会

10月21日晚，上交所科创板上市委2019年第35次审议会议结果公告，同意芯源微发行上市(首发)。

芯源微科创板上市申请今年7月12日获得上交所受理，经过两轮问询。芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，其涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白。此次上市，公司拟募集资金3.78亿元，主要用于8/12英寸单晶圆前道涂胶/显影机、8/12英寸前道单片式清洗机等产能与研发中心建设。

芯源微招股说明书显示，公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代。

光刻工序涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机配合进行作业，而光刻机正是芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设备。

作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影)，涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成，其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸如蚀刻、离子注入等诸多工艺中图形转移的结果也有深刻影响。

芯源微2002年成立，自2008年我国启动实施“02重大专项”以来，公司便作为项目牵头单位承担并完成了两项与所处涂胶显影设备领域相关的“02重大专项”项目。截至2019年3月31日，公司已获得专利授权145项，其中发明专利12项；拥有软件著作权37项。公司还先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准，其中喷胶机行业标准已正式颁布实施，涂胶机行业标准目前正在审核中。

2016年、2017年、2018年以及2019年一季度(简称“报告期”)，芯源微分别实现营收1.48亿元、1.90亿元、2.01亿元和1030.53万元；分别实现归母净利润492.85万元、2626.81万元、3047.79万元、-902.52万元。报告期各期，公司主营业务毛利率分别为41.25%、41.79%、46.27%和36.18%，总体高于可比上市公司。

报告期，公司光刻工序涂胶显影设备的销售收入占公司营收比重六成以上。2018年度，公司光刻工序涂胶显影设备销售收入同比下降2766.12万元，降幅达17.68%，主要是因为公司2018年度涂胶/显影机(6英寸及以下)产品销量从2017年的75台下降到42台，收入同比下降3434.79万元，降幅达42.17%。

公司表示，涂胶/显影机(6英寸及以下)产品主要应用于LED芯片制造领域，2018年国内LED行业整体增速放缓，芯片价格持续下滑，行业大环境形势较严峻，公司下游主要客户华灿光电、澳洋顺昌在2018年的经营效益均低于同期，其2018年净利润同比分别下降51.43%和36.35%。

芯源微表示，在经历一年左右的扩产周期、产能陆续集中释放后，2017年下半年开始，整个LED行业出现供需失衡，特别是进入2018年以来，受全球宏观经济影响，LED下游应用行业需求不及预期，国内LED芯片价格及库存压力增大，导致各大LED芯片厂商纷纷推迟新一轮扩产计划，从而短期内降低了对上游半导体设备的采购需求。

LED行业的低迷态势延续到2019年。公司称，2019年上半年，国内LED芯片市场仍不容乐观。受LED芯片价格下降的影响，公司下游主要客户包括华灿光电等在2019年上半年产能利用率、业绩同比均有较大幅度下降。LED行业的周期性不景气将对公司涂胶/显影机(6英寸及以下)的销售收入造成不利影响。

虽然最近两年公司在LED芯片制造领域的收入规模有所下降，但公司表示，从中长期来看，LED在下游背光、照明、显示等领域的应用深度及应用广度仍然有待提升，未来LED芯片行业的发展空间较大，这为公司小尺寸产品的发展提供了空间保障。

此外，公司也在积极开发适用于下一代显示技术Micro LED的新产品。公司可基于自身在集成电路制造前道工艺及后道工艺的技术储备，通过移植应用的方式将相关技术转移至Micro LED领域，以满足下游客户对Micro LED的战略布局需求，从而抢占新的市场机遇。公司在Micro LED领域已有相关在手订单。

（文章来源：中国证券报）