南韩政府将展开OLED设备用核心零组件技术开发计划，预定至2022年为止共投入222亿韩元(约1,950万美元)，将挑选出依赖海外进口度高的品项，并以可同时应用于显示器与半导体、太阳能、LED等多种领域为优先，提升自给率。

据韩媒ET News报导，南韩产业通商资源部(Ministry of Trade, Industry and Energy)正着手开发OLED设备用核心零组件技术，挑选出主要设备中对性能有关键影响，且高仰赖进口的零组件，除提升自给率，亦将强化南韩零组件产业竞争力。

该计划采取面板、设备、零组件厂商合作研发技术的形态，已于2019年5月截止申请，预定7月底前与参与企业签订正式合约。若由零组件厂商负责研发，形式上将由设备厂进行一次可信度评估，再由面板厂使用已采南韩自制零组件的设备，进行性能最后评估。

南韩政府已选定2种电浆化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；PECVD)与原子层沉积(Atomic Layer Deposition；ALD)用、3种蒸镀机用、1种干式蚀刻用、1种洗净用核心零组件，及2种共享零组件为主题，预定2019年先研发OLED制程PECVD/蚀刻设备用90kW以上射频(RF)电源系统、薄膜蒸镀设备供应原料所需大容量高温用金属罐(canister)技术、低温多晶硅(LTPS)/薄膜脱落等设备所需紫外线雷射用光束(beam)光学类零组件、OLED设备用核心零组件性能评估等4项计划。

其中，90kW以上大容量RF电源系统目前除仰赖日本设备厂供应外，南韩尚未自制商转，包括美国AE、MKS，日本京三制作所(Kyosan Electric Manufacturing)、德国Huettinger等业者于此领域具备相当水平的技术。

南韩也将强化CVD设备用金属罐自制技术。因OLED设备使用大容量气体，需金属罐作为容器，用于原料汽化、形成薄膜时，让已处于汽化状态的原料维持在热状态中。为了供应适当分量的原料，需要可使蒸气压力维持在合理范围的技术，而南韩尚未有可供应最佳金属罐的企业。

OLED制程中，为形成高均匀度激光束所需的光学类零组件，也在南韩研发计划中。光学类零组件占OLED设备价格约30~40%，其关键在于设计出曲律与形状各不相同的各种镜片，并调整镜片间距离等，使之优化，以确保光束质量。目前南韩雷射剥离(Laser Lift-Off；LLO)与准分子雷射退火(Excimer-Laser Annealing；ELA)设备用光学类零组件系分别向德国、美国近全数进口。

南韩业界表示，近期因日本政府限制出口，使发展零组件设备多元化供应来源，及提升自制率的重要性扬升，应以仰赖日本供应度高的零组件设备为优先，拟定中长期进程表。

不过，南韩政府认为，不同企业对核心零组件设备的需求各有差异，种类多且复杂，首先仍以较多企业同样具自制必要性，且可应用在较多领域的零组件开始，往后再扩大计划方案。（来源：digitimes）