扩大OLED产业，韩国YAS公司开发新设备替代进口设备打造产业园区

历经5年，YAS扩产终获批！致力打造OLED蒸镀设备产业园区。OLED面板生产世代越大，相应的蒸镀面积会随之变大。在OLED小尺寸（5代线以下）制造技术上韩国落后于日本Cannon。但自YAS成立以来在6代线以上高世代线量产设备制造上逐步形成国际化优势。这也是通过与LGD的合作，采用100%自主研发并进行量产认证的全球独家技术。

扩大OLED 产业，为开发新设备以替代进口设备打造产业园区

随着TV面板的大尺寸化与OLED TV的高端市场定位的稳固，OLED产业逐步扩大。YAS为扩大OLED产业地位、加强新设备开发，从2012年开始就已经在着手准备打造更接近于客户的产业园区，以确保技术与人力的充分准备。

YAS从合作伙伴LGD手中100%接手70454平方米用地，但因坡州地区属边境地带，经历5年之后才被京畿道和坡州市审批通过产业园区方案。

在园区审批过程中，国民权益委员会考虑到YAS持有技术的重要性，委员长亲自指挥仲裁园区方案。推进LGD大尺寸OLED事业中YAS产业园区至关重要，YAS联手LGD确保独家高世代线蒸镀设备的开发及量产。

京畿道与坡州市积极进行配合，在审批园区建造3栋建筑，其中先行嫁动1栋制作8.5代线OLED设备。

YAS表示，从显示产业贸易进出口情况来看，去年韩国出口额为9.74亿美金，而进口为10.36亿美金。此次产业园区方案审批后YAS将通过已确保的独家大尺寸高世代线蒸镀设备技术提升全球市占率至60%，可以带来40亿美金的进出口效益。

延世大学创投企业YAS

YAS起初为大学创投企业。1990年初延世大学OLED材料制造教授郑光浩（音译），前瞻大尺寸OLED面板蒸镀设备的重要性，并成立公司。随后研发出全球首家线形蒸镀设备，并持续致力于研发材料利用率更高的蒸发源，并导入量产。这也为确保韩国OLED TV领先地位打下了基础框架。

YAS郑光浩代表

2002年4月成立公司的郑教授主力推进圆形蒸发源（CNS）与金属（AI）、高温蒸发源，正式打入LG三星等大企业。还通过积极参与了韩国政府产业策略的制定，确保了将近200件OLED的基础专利。

2009年韩国产业部牵头，与LGD-YAS、SMD-SFA签署TV 5.5代线蒸镀设备共同开发MOU，项目获得韩国国策事业研发费用总额162亿韩币，完成了5.5代线AMOLED水平型蒸镀设备研发。继而开发出8.5代线OLED TV量产设备进行销售，同时也进行OLED照明设备的开发和销售，逐步形成竞争力。

YAS致力于大尺寸OLED TV面板量产系统标准化

YAS收到广州8.5代线TV量产设备LOI后，高世代线OLED产线设备需求扩大，YAS正积极推进工厂增设。YAS生产全球60%以上OLED TV量产设备，未来10年内计划替代2兆韩币（约122亿人民币）的进口设备，可提升2兆韩币的出口额。同时也致力于水平型OLED TV量产系统的标准化。

电视面板市场因中国LCD面板产业的崛起，韩国渐失去量产技术差异化优势，而OLED电视逐渐发展成为次世代电视趋势。在这种局面下，日本尝试用印刷方式，而中国选择用LCD低价战略以掌控市场，竞争日益白热化。为确保独家OLED TV蒸镀设备量产技术优势，YAS积极扩张，打造设备制造产业园区，为迅速对应客户进入量产阶段，赢得先机。

韩国OLED产业专家表示，采用已认证量产能力的设备扩大事业版图，可以与中国和日本的竞争拉开差距，也是防止技术泄露的有效办法。并强调要回归到当初5.5代线AMOLED大尺寸蒸镀设备共同研发时的初心，摸索出有利于韩国产业主体（政府-大企业-中小设备企业-材料/加工企业-代工人力）发展的方案。

具有全球独家OLED蒸镀核心技术的YAS，随着产业扩大可期待营收的迅速增长。建设中的OLED园区完成后可创造6千亿韩币（约36亿人民币）的营收，增加400多个就业机会。

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卡住中国OLED咽喉的真空蒸镀机：高端显示屏上的阴影

未来可卷曲、如纸一样轻薄的各类终端屏幕主要选材是OLED（有机发光二极管），OLED生产过程最重要的一环就是“蒸”，工艺难度极高。

真空蒸镀机就如同OLED面板制程的“心脏”，被日本Canon Tokki独占高端市场，说其掌握着OLED产业的咽喉也不过分，业界对它的年产量预测通常在几台到十几台之间。有钱也买不到，说的就是它。

可惜，目前我国还没有生产蒸镀机的企业，在这个领域我们没什么发言权。

这台设备就如同生产OLED面板的“入场券”

买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”，Canon Tokki在业内的名声很像顶级光刻机企业ASML，神一样的存在。

仅有300多名员工，却基本垄断了全球真空蒸镀机的供应，每台报价过亿美元，仍然一机难求，排队等货因此成为常态。

据说京东方6代柔性OLED生产线能够提前量产的重要前提就是，拿到了Canon Tokki的真空蒸镀机。三星之所以能垄断中小尺寸OLED的生产和供货，也是因为有了Canon Tokki的助攻。

蒸镀设备厂商不止一家，Canon Tokki为什么一机难求？因为它量产稳定与技术成熟的优势无人可比。

买到Canon Tokki的设备就能有良品率吗？不然。

中粤金桥投资合伙人罗浩元对科技日报记者说：“蒸镀设备虽然是OLED生产中的关键环节，但一条生产线要实现批量化、高品质的生产，要对整个生产链进行科学管理及整合，确保每一道工序可控、可靠。但是，没有真空蒸镀设备，以上无从谈起。”

Canon Tokki能把蒸镀误差控制在5微米以内

蒸镀是OLED制造工艺的关键，直接影响着OLED屏幕显示，蒸镀机的工作就是把OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上。

OLED显示面板中大量应用的有机材料极易受到氧气和水的影响，有机材料间也很容易造成污染，因此，面板的蒸镀一般都是在真空环境下且相互独立进行。

通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜，这个过程就是真空蒸镀。

“通俗地说，OLED屏幕每个像素都是蒸上去的，除了发光材料，金属电极等也是这样蒸上去的，实际操作非常复杂。

Canon Tokki能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内，这是什么概念？1微米相当于头发直径的1％。”罗浩元说，“没有其他公司的蒸镀机能达到这个精准度。”

潜心于一个领域20余年，让Canon Tokki拥有不少专利，比如，它很早就将机器视觉应用在设备上。生产环节中，对准玻璃基板和用作像素模板的细金属网难度很大，利用摄像头追踪，Canon Tokki可将误差范围缩小到人体红细胞大小。

这是一场多维度、立体化的综合性突破

就如中国科学院院士、中国科学院物理研究所欧阳钟灿教授所说，中国平板显示全球第一，但大而不强。我国OLED企业主要聚集在产业链中下游的面板和手机等显示终端产品应用领域，上游核心生产设备完全依靠进口。

当年三星从全球40多家蒸镀机业者选到今天最牛的Canon Tokki，在OLED产业蛰伏期，Tokki遭逢破产危机时，依然全力扶持，这种患难情谊让三星一度独家拿下Canon Tokki的全部产量。

电子创新网创始人、半导体技术专家张国斌对科技日报记者说：“虽然离了Canon Tokki三星也可能玩不转，但三星对产业趋势和技术的判断、把握值得我们反省。”

罗浩元比较认同张国斌的观点：“具体到真空蒸镀机这种卡住产业咽喉的核心装备，能不能追，怎么追，从上到下都很迷茫。我国目前的OLED产业布局和推进方式可以让我们短期内形成产业规模，却无法实现高端设备的自主研发、装备能力。这个问题不解决，别说真空蒸镀机，其他OLED装备的突破也将是空谈。”

中国电子材料行业协会常务副秘书长袁桐认为，材料或设备并不是单一的产品，它牵涉到面板系统性的工艺和技术，如果只凭配套企业一己之力，可能只能实现某一种材料或设备的国产化替代。罗浩元说：“这是一场多维度、立体化的综合性突破。”

OLED的生产难度在精密制造，精密制造的技术壁垒在精密设备。国内OLED大型生产线装备虽仍一片空白，但OLED科研型蒸镀设备已达国际水平，中试型生产装备已成功研发。“虽然距离摆脱‘真空’有点远，但好歹上路了。”罗浩元说。

“真空蒸镀机等核心设备的缺失，反映出我国基础研究、精密加工、自动化控制等多领域的短板。”罗浩元说，“虽然很难，但一代人有一代人的任务，希望我们这一代能生产出真空蒸镀机。”