来源:爱思强Aixtron
行家说产业研究中心认为进入到Micro LED领域(芯片面积≦ 5000μm2 )后,对LED外延材料技术提出更苛刻的挑战,包括波长均匀性一致性、缺陷和Particle的控制、uA级电流下光电性能一致性以及外延片面积的利用率,例如波长标准差σ < 0.6时可满足Stamp 的转移需求,这也是MOCVD和外延厂商共同努力的方向。
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