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超4亿SiC收购案落地!中外企业将在这一领域展开较量?
第三代半导体风向 | 2023-02-03
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2023钟声刚响,碳化硅产业就发生了几件大事,例如:Wolfspeed再投150亿建厂(链接);东尼电子获得40亿订单(链接);比亚迪、起亚密度发布SiC车型(链接);奔驰、大众等争夺SiC资源(链接);2022优秀SiC榜单公布(链接)……

昨天,碳化硅行业又发生了一件大事——Veeco宣布收购一家碳化硅设备厂商,收购金额超过4亿元人民币,这将会对设备产业格局带来哪些影响?

Veeco收购Epiluvac

生产碳化硅CVD设备

2月1日,Veeco官网发文称,他们已于1月31日收购了Epiluvac,目标是生产SiC化学气相沉积 (CVD) 设备。

报道称,此次交易全部以现金支付,在交易完成时已支付了 3000 万美元(约合人民币2.02亿元),并将提供3500 万美元(约合人民币2.35亿元)绩效收益,所以这桩收购案的总价有望达到6500万美元(约合人民币4.37亿元)。

预计 2023 年Epiluvac对 Veeco 财务业绩的影响不会很大,预计量产收入将于 2024 年开始。

Veeco 首席执行官 Bill Miller 表示:“Epiluvac 团队的CVD平台是对我们MOCVD外延设备产品线的重要补充。此次收购缩短了我们的产品上市时间,从而加快了我们对新兴、高增长 SiC 设备市场的渗透。”

根据 Yole Group 和内部 Veeco 的估计,预计从2023年到2027年,SiC外延设备市场同期复合年增长率将达到约15%。

众所周知,Veeco与爱思强在LED和MOCVD设备领域竞争激烈,如今Veeco收购Epiluvac,这2家企业或将在碳化硅领域展开竞争。

实际上,Epiluvac与爱思强公司的渊源颇深。1990年代中期,Epigress成立,是全球最早开发碳化硅外延设备的企业之一。1999年,爱思强收购了Epigress,于 2012 年关闭Epigress 业务。

而在2013年,Epigress的技术团队出走,成立了Epiluvac,Epiluvac的CEO和CTO 都曾是Epigress的创始人。

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但是在技术方面,Epiluvac与爱思强2家公司有所不同,根据Epiluvac的PPT介绍,他们采用的是热壁技术,而爱思强采用的是行星式结构。

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LPE 36亿元出售

爱思强、钮富来差点被收购

截至目前,碳化硅外延设备领域已经发生了3起收购案,除了爱思强收购EpiGress、Veeco收购Epiluvac,2022年7月, ASM International 还收购了 LPE,收购总价达到5.25亿欧元(约36亿人民币)。

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碳化硅外延设备“江湖”历来不太平,爱思强和NuFlare也差点被收购。

2016年5月,中国福建宏芯基金表示有意收购爱思强,并于当年7月底正式发布要约文件,收购金额约6.7亿欧元。同年9月8日,德国政府批准这项收购,10月福建宏芯基金付清所需款项。

但到了当年10月24日,爱思强发表声明说该公司接到德国经济部通知,政府已撤回对收购的批准并决定重新审查。同年12月,美国总统奥巴马发布总统令,阻止福建宏芯基金收购爱思强及其美国分支机构。

NuFlare也是知名的碳化硅外延设备厂商,它是由东芝机械与东芝于2002年合资成立。此后,东芝逐步收购Nuflare的普通股份,到2012年东芝旗下TDSC持有Nuflare 52.4%股份。

但在2019年12月,日本HOYA公司“恶意”收购Nuflare,宣布将以每股12,900日元(约人民币833.34元)进行收购,高出TDSC价格1000日元(约人民币64.6元)。最终,东芝不得不溢价 45%,于2020年1月16日成功全盘收购NuFlare。

中外设备即将交锋?

除了上述外资企业外,根据《2022年碳化硅(SiC)产业调研白皮书》,国内在 SiC 外延设备方面的研制正在逐步追赶,中国电科 48 所、北方华创、纳设智能、季华实验室、芯三代等企业目前已研制出 SiC 外延生长设备。2022 年SiC 外延国产设备迎来发展良机。以中国电科 48 所为例,他们的 SiC 外延设备在短短半年时间内率先突破了 100 台套以上销售。

此外,中微公司或将介入碳化硅领域,他们于2020年启动了募投项目——“中微临港总部和研发中心项目”,其中MOCVD设备项目就主要包括碳化硅材料功率器件的外延生长设备和技术的研发。

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LPE和Epiluvac被收购或意味着产业进入整合阶段,预示了大企业对碳化硅赛道的肯定和期待,随着大企业的介入,中外碳化硅外延设备之间的竞争或将升级。

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