亚半科技独家分享|TES将于3月正式发布最新4G深紫外MOCVD

UVLED风向标 · 2021-01-11

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亚半科技独家分享 | TES 将于3月正式发布最新4G 深紫外MOCVD

12月29日,在行家说、UV LED风向联合举办的《2020行家说年会·深紫外LED专场高峰论坛》上,深圳市亚半科技有限公司(TES中国区代理)总经理王峥从TES独特的进气结构、适合高温生长的免维护部件及外延展示,这三个方面介绍了TES MOCVD如何助力UVC LED外延生产。

王峥表示,TES作为MOCVD设备的生产商,从2004年到2020年,已经对外售卖了2000多台CVD设备,从2011年开始布局深紫外MOCVD设备的研发,并将在2021年3月发布最新4G MOCVD。他指出,产业链中的芯片端到封装、模组再到应用端较为人熟悉,但在芯片之前的外延同样不可忽略,对于制备UV LED外延片的MOCVD而言,技术门槛在于设备的高温耐受力和对预反应的抑制以及产品均匀性和设备重复性的矛盾,这些都是确保UV LED外延片良率和量产的前提,尤其是UVC LED。

据王峥现场分享,在运用MOCVD设备助力UVC LED外延生长中,TES HESTIA 设备独特的水平进气方式及RF辐射加热方式,可使受热更均匀,生长出的外延波长一致性及均匀度更高。具体主要有三个技术优势:

一、通过Reactor结构导致AlN无裂纹,在UVC LED Epi生长中,无裂纹的AlN是关键的技术,而TES的Reactor结构可实现快速的气体交换,使其易于生长高质量的AlN。

二、通过MOCVD稳定性来确保最大化正常运行时间,以UVC工艺为重点的MOCVD结构和零件,能够大成度消除故障因素,正常运行时间能达到97%。

三、维修方便,所需的维修工程只是擦拭天花板及更换清洁零件,同时维修时间(包括恢复时间)只需要4.5个小时,正常运行时间保持97%。另外增加的Loading Capa和全自动传输模块,能够提供优势的生产率和性能。

最后,王峥为大家展示了来自TES 所生产的6英寸外延片,并指出不管是从002-102数据范围以及厚度的均匀性,6英寸外延片和TES生产的两英寸外延片几乎处于一个水平,并且把波长控制在4.4纳米这个范围,也透露6英寸外延片可以持续供应,非单独样品。

王峥表示,深圳市亚半科技作为TES 中国代理商,一直将最先进的生产设备供给产业链,未来也将会持续推进,让UVC LED外延生产更加高效、优质。

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